ТОМСК, 31 августа /Пресс-служба ТУСУР/ - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) совместно с промышленным партнером – ЗАО "НПФ "Микран" планируют до конца 2015 года вложить в модернизацию научно-образовательного центра "Нанотехнологии" ТУСУР порядка 100 млн рублей. На базе НОЦ "Нанотехнологии" университет планирует создать центр превосходства в области СВЧ-наноэлектроники.
Средства будут направлены на оборудование в НОЦ "Нанотехнологии" нового участка - высокопроизводительной фотолитографии, который необходим для повышения производительности технологической линии НОЦ ТУСУР и развития специализации "Наногетероструктурная электроника СВЧ".
В настоящее время в ТУСУР производится необходимая реконструкция помещений, которые до конца 2015 года будут оснащены необходимым оборудованием для поддержания специального климата и обеспечения заданного класса частоты, и где в последующем будет размещена установка проекционной литографии – необходимая в технологической линии производства интегральных микросхем нового поколения. Запустить участок планируется в первом квартале 2016 года.
По словам представителей НОЦ "Нанотехнологии" ТУСУР, в центре, открытом в 2009 году, действуют несколько участков: технологический участок, где разрабатываются и производятся опытные образцы сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных интегральных схем, и участок измерений, оснащенный комплексом высокоточного оборудования для измерения параметров интегральных схем. Подчеркивается, что опытные образцы используются заказчиками и партнерами НОЦ «Нанотехнологии».
В частности, в НОЦ решаются перспективные задачи мирового уровня в рамках комплексных проектов по Постановлению Правительства РФ, которые ТУСУР выполняет совместно с промышленными партнерами: ЗАО "НПФ "Микран" (г. Томск), АО "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" (г. Железногорск). Кроме того, в центре специалисты ТУСУР и НПФ "Микран" занимаются перспективной разработкой технологии изготовления силового нитрид-галлиевого транзистора с медной металлизацией. Данная разработка, не имеющая российских аналогов, в 2015 году вошла в число победителей конкурса "Зелёный чип" за лучшее энергоэффективное решение в микроэлектронике.
Основная задача НОЦ "Нанотехнологии" ТУСУР - это создание конкурентоспособной импортозамещающей элементной базы для электронной промышленности, отраслей связи и телекоммуникаций. Также специалисты вузовского центра (большинство из которых – выпускники ТУСУР) принимают активное участие в формировании профессиональных стандартов в области наноэлектроники, на базе центра реализуются уникальные образовательные программы подготовки и переподготовки специалистов для российских электронных компаний, осваивающих новые технологии или планирующих их внедрение.